世界に先駆け高効率パワーデバイス及びナノマテリアルの社会実装を目指し研究開発を加速させます

研究テーマ Research Themes

研究テーマ一覧

コアクラスター

パワーデバイス用半導体

  • GaN/Siベース半導体の確立とその社会実装
  • GaN基板上GaN系パワーデバイス開発
  • RE-MOCVD法によるAlInN/GaN系次世代半導体とデバイス開発
  • 溶液法SiC系結晶とデバイス開発
  • サーマルマネージメント用AlN結晶とデバイス開発
  • GaN結晶評価技術の開発

ナノマテリアル

  • ナノ粒子を応用したエネルギー関連材料開発とその実装
  • 先進プラズマによる表面改質技術・装置の開発(研究リーダー変更)

サテライトクラスター

パワーデバイス用半導体

  • GaN系半導体のパワーデバイス応用に関する研究開発
  • 高品位GaN基板の開発
  • 高品質SiC結晶育成

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